ECRアシスト電子ビーム蒸着によるSiO_2膜およびAl_2O_3膜の作成とその音響特性の評価

• 神原 博文

  東北大院・工

• 中村 僖良

  東北大院・工

• 石川 一夫

  東北大院・工

書誌事項

タイトル別名

• Measurement of Acoustic Properties of SiO_2 and Al_2O_3 Thin Films Deposited by ECR assisted Electron Beam Evaporation

収録刊行物

• 日本音響学会研究発表会講演論文集

  日本音響学会研究発表会講演論文集 1999 (1), 835-836, 1999-03-01

詳細情報

• CRID: 1573950398821453824
• NII論文ID: 10002751470
• NII書誌ID: AN00351181
• ISSN: 13403168
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles