クリームルーム内ガス状汚染物質の粒子化除去

• 関口 和彦

  埼玉大・院理工

• 坂本 和彦

  埼玉大・院理工

• 石谷 治

  埼玉大・院理工

• 藤井 敏昭

  荏原総研

書誌事項

タイトル別名

• Particle conversion and capture of gaseous contaminants in cleanroom

収録刊行物

• エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

  エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 16 7-9, 1999-07-01

詳細情報

• CRID: 1571980073994662272
• NII論文ID: 10002782661
• NII書誌ID: AA11498601
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles