光と電子が作るアメニティ -人, 食品, ウエハに対する快適環境-

• 藤井 敏昭

  埼玉大, 荏原総研

• 坂本 和彦

  埼玉大

書誌事項

タイトル別名

• Amenity using Photon and Electron -Comfortable environment to human being, food and wafer-

収録刊行物

• エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

  エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 16 115-117, 1999-07-01

詳細情報

• CRID: 1570572699111157632
• NII論文ID: 10002782782
• NII書誌ID: AA11498601
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles