2自由度静電駆動型ねじり振動子(第2報) -動作モデルと最適化-

• 臼田 孝

  計量研

• 梅田 章

  計量研

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 805-806, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1571980073983032192
• NII論文ID: 10002805373
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles