超微小硬度計による薄膜の硬度評価(第7報) -圧子先端半径の影響および直接くぼみ測定方式との相違-

• 岩瀬 正則

  千葉工業大学

• 金沢 憲一

  千葉工業大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 367-368, 1996-03-01

詳細情報

• CRID: 1571980073982892032
• NII論文ID: 10002806206
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles