イオンビームを用いたCVDダイヤモンド薄膜の平滑化(第3報)-エッチバック法を用いた場合-

• 清原 修二

  東京理科大学 基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学 基礎工学部

• 正木 隆嗣

  東京理科大学 基礎工学部

• 木村 裕一

  東京理科大学 基礎工学部

• 原 正子

  東京理科大学 基礎工学部

• 杉浦 直樹

  東京理科大学 基礎工学部

• 西村 一仁

  北九州職業能力開発短期大学校

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 639-640, 1996-03-01

Details

• CRID: 1572824498912777088
• NII Article ID: 10002806638
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles