TiNi合金薄膜のパターニングの検討

• 中村 滋男

  東大生研

• 中村 洋介

  東大生研

• 藤田 博之

  東大生研

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 1029-1030, 1996-03-01

Details

• CRID: 1572543023936269056
• NII Article ID: 10002807304
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles