圧電素子を用いた超精密加工用微小変位テーブル

• 越水 重臣

  静岡理工科大学

• 大塚 二郎

  静岡理工科大学

• 下河辺 明

  東京工業大学

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 1079-1080, 1996-03-01

Details

• CRID: 1571980073982847232
• NII Article ID: 10002807389
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles