2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第3報)

• 臼田 孝

  計量研

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 491-492, 1996-09-01

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• CRID: 1572261548959646464
• NII Article ID: 10002808331
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles