すべり案内機構の超精密運動制御(第1報) -微小変位領域における非線形性と補償制御-
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収録刊行物
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 515-516, 1996-09-01
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詳細情報
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- CRID
- 1571980073982933888
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- NII論文ID
- 10002808377
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles