すべり案内機構の超精密運動制御(第1報) -微小変位領域における非線形性と補償制御-

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詳細情報

  • CRID
    1571980073982933888
  • NII論文ID
    10002808377
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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