すべり案内機構の超精密運動制御(第1報) -微小変位領域における非線形性と補償制御-

• 岡崎 祐一

  機械技術研究所

• 金 京洙

  韓国科学技術院

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 515-516, 1996-09-01

Details

• CRID: 1571980073982933888
• NII Article ID: 10002808377
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles