シリコン酸化膜中の点欠陥の新しい検出法

• 大木 義路

  早稲田大学

• 石井 啓介

  早稲田大学

• 薛 光洙

  早稲田大学

• 西川 宏之

  東京都立大学

書誌事項

タイトル別名

• A New Detection Method of Point Defects in Silicon Dioxide Thin Films
• シリコン サンカ マク チュウ ノ テン ケッカン ノ アタラシイ ケンシュツ

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 116 (5), 387-391, 1996

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• シリカ
• シリコン酸化膜
• 点欠陥
• 発光スペクトル
• エキシマレーザ
• シンクロトロン放射光

詳細情報

• CRID: 1390282679576412416
• NII論文ID: 10002819415
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms1990.116.5_387
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• NDL書誌ID: 3954345
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3954345
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms1990/116/5/116_5_387/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles