二重管式チャンバーを用いたクリーンルーム構成材から発生するVOCの評価

• 田中 貴織

  東京工業大

• 藤井 修二

  東京工業大

• 湯浅 和博

  東京工業大

• 鍵 直樹

  東京工業大

• 田村 一

  (株)テクノ菱和

書誌事項

タイトル別名

• The Double-cylinder Chamber for Emissions of VOC from Cleanroom Materials

収録刊行物

• エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

  エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 15 147-149, 1998-08

詳細情報

• CRID: 1573105973904645376
• NII論文ID: 10002846215
• NII書誌ID: AA11498601
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles