高密度プラズマを用いたダイヤモンド状(DLC)薄膜の低温形成に関する研究(第4法) -DLC薄膜の構造及び特性の評価-

  • 蔵本 慶一
    三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
  • 堂本 洋一
    三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
  • 平野 均
    三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
  • 樽井 久樹
    三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
  • 木山 精一
    三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

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詳細情報

  • CRID
    1571980074002194432
  • NII論文ID
    10002868740
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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