高密度プラズマを用いたダイヤモンド状(DLC)薄膜の低温形成に関する研究(第4法) -DLC薄膜の構造及び特性の評価-
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収録刊行物
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 329-330, 1997-03-01
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詳細情報
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- CRID
- 1571980074002194432
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- NII論文ID
- 10002868740
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles