加工面基準法によるインプロセス計測制御 -D-MTSによる平面全体への加工制御-

• 大野 直弘

  東京都立科学技術大学

• 河野 嗣男

  東京都立科学技術大学

• 矢澤 孝哲

  東京都立科学技術大学

• 菅野 知明

  東京都立科学技術大学

• 宇田 豊

  (株)ニコン

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 605-606, 1997-03-01

詳細情報

• CRID: 1572824498932286464
• NII論文ID: 10002869226
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles