空気式静圧XYステージに関する研究 -レーザ干渉計を用いた位置決め方法の改善-

• 青木 滋

  東京電機大理工

• 里見 忠篤

  東京電機大理工

• 柏田 真也

  東京電機大理工

• 前田 純吾

  東京電機大理工

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (1), 1169-1170, 1997-03-01

詳細情報

• CRID: 1572261548960278144
• NII論文ID: 10002870199
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles