水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第2報)-走査速度や加速電圧を変えた場合-

• 谷口 淳

  東京理科大学

• 宮本 岩男

  東京理科大学

• 大野 直人

  東京理科大学

• 神谷 健一

  東京理科大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 (2), 327-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1574231873797166336
• NII論文ID: 10002871273
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles