磁歪型マイクロ超音波振動子の微細砥粒加工への適用

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  • CRID
    1571698599007044224
  • NII論文ID
    10002871455
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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