DLC/TMS-SiC積層薄膜の付着強度評価

• 山本 和人

  立命大院

• 磯野 吉正

  立命大理工

• 田中 武司

  立命大理工

• 寺山 暢之

  神港精機(株)

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 434-, 1998-03-05

Details

• CRID: 1572543023937161856
• NII Article ID: 10002873335
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles