結晶格子を用いた実時間2次元変位エンコーダの開発(第2報 : 特定原子配列に沿った方向の変位測定)

• 明田川 正人

  長岡技大

• 高田 孝次

  長岡技大

• 岡 有希

  長岡技大(院)

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 87-, 1998-09-01

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• CRID: 1573387448867313280
• NII Article ID: 10002874397
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles