3波長での位相データを基にした段差を持つ粗面の形状計測

• 安達 正明

  金沢大学工学部

• 稲部 勝幸

  金沢大学工学部

• 北川 洋一

  兵庫県工業技術センター

• 松本 哲也

  兵庫県工業技術センター

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 175-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1571698599006695936
• NII論文ID: 10002874663
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles