微細結晶構造を有するダイヤモンド膜の合成

• 竹内 貞雄

  日本工大

• 村川 正夫

  日本工大

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 228-, 1998-09-01

Details

• CRID: 1571135649053417728
• NII Article ID: 10002874805
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles