研削プロセスを用いたマイクロ加速度センサの開発

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著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 330, 1998-09-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

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    OHTSUCHI T.

    1996 IEEE Ultrasonics Symposium, 331-334

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002875099
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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