小型精密機器の高速・高精度制御 -情報機器における高速移動と高精度位置決めの切り換え制御方式について-

• 山口 高司

  (株)日立製作所機械研究所

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• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 451-, 1998-09-01

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• CRID: 1573105973890432896
• NII Article ID: 10002875451
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles