圧電素子を利用したアクティブスクイーズ空気軸受の開発 -第5報 ラジアルスクイーズ空気軸受の試作-

• 中尾 祥昌

  長岡技大大学院

• 磯部 浩巳

  長岡技大工学部

• 久曽神 煌

  長岡技大工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 458-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1571135649053460224
• NII論文ID: 10002875471
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles