超音波モータを用いた3自由度位置決めステージの開発

• 瀬川 裕之

  東京農工大学

• 遠山 茂樹

  東京農工大学

• PURWANTO Eko

  東京農工大学

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 476-, 1998-09-01

Details

• CRID: 1572543023937198080
• NII Article ID: 10002875525
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles