PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第5報) -直径1.4mm, 高さ5mmのステータ振動子を用いて-

• 森田 剛

  東大・工

• 黒澤 実

  東大・工

• 樋口 俊郎

  東大・工

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 575-, 1998-09-01

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• CRID: 1573105973890462720
• NII Article ID: 10002875814
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles