レーザーPVD法によるダイヤモンド状炭素成膜 -顕微ラマン分光法による定性分析-

• 井上 泰治

  日本大学大学院

• 鈴木 薫

  日本大学理工学部

• 中田 順治

  日本大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Films by YAG Laser PVD Method -Qualitative Analysis by Raman Microprobe Spectroscopy-

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 19 82-, 1999-01-01

詳細情報

• CRID: 1570009749147078272
• NII論文ID: 10002883601
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles