化学増幅型3成分レジストにおける溶解抑制剤のレジスト溶解性への影響

• 堀辺 英夫

• 熊田 輝彦

• 久保田 繁

書誌事項

タイトル別名

• カガク ゾウフクガタ 3 セイブン レジスト ニ オケル ヨウカイ ヨクセイザ

収録刊行物

• 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology

  高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology 53 (1), 57-62, 1996-01

  東京 : 高分子学会

詳細情報

• CRID: 1520853832012184064
• NII論文ID: 10003282996
• NII書誌ID: AN00085011
• ISSN: 03862186
• NDL書誌ID: 3917752
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3917752
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles