オルト結合体ユニットを有するノボラックのフォトレジストに及ぼす影響

• 銅木 克次

• 宮本 秀俊

• 辻 昭

書誌事項

タイトル別名

• オルト ケツゴウタイ ユニット オ ユウスル ノボラック ノ フォトレジスト
• 特集号 高分子の微細・精密加工とキャラクタリゼーションー1-
• トクシュウゴウ コウブンシ ノ ビサイ セイミツ カコウ ト キャラクタリゼー

収録刊行物

• 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology

  高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology 53 (4), 231-238, 1996-04

  東京 : 高分子学会

詳細情報

• CRID: 1520290883475364992
• NII論文ID: 10003283418
• NII書誌ID: AN00085011
• ISSN: 03862186
• NDL書誌ID: 3947643
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3947643
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles