クリーンルーム環境におけるコロナ放電によるガス-粒子変換

• 並木則和

収録刊行物

• 第12回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集

  第12回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集 19 1993

詳細情報

• CRID: 1573950398886578688
• NII論文ID: 10003368460
• データソース種別:
  • CiNii Articles