走査型アルミナセラミックスクラック検出装置の開発

• 吉村 剛治

  正会員 日立金属 (株)

• 秋山 伸幸

  正会員 長岡技術科学大学

• 吉田 昌弘

  正会員 長岡技術科学大学

• 小林 隆之

  長岡技術科学大学

書誌事項

タイトル別名

• Development of Scanning Detection System for Cracks on Al2O3 Ceramics.
• ソウサガタ アルミナ セラミックス クラック ケンシュツ ソウチ ノ カイハツ

抄録

The scanning detection system for a narrow crack on a ceramic plate has been developed. When a laser spot is illuminated on a ceramic plate, the laser is diffused within the ceramics and interrupted by the crack. The crack is detected automatically by detecting the difference of irradiants on each side of crack. In the experimental apparatus the laser spot is scanned with a polygon mirror and the distribution of irradiant on the ceramics is detected with a 2-divided photodiode. The high sensitivity for crack detection is obtained using a finite difference value of detected signal. Experimental results show that this crack detection technique detects the cracks of 0.5μm at an S/N ratio of 2 in the scanning process of laser spot.

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 61 (11), 1599-1603, 1995

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• crack
• non-contact detection
• non-destructive inspection
• laser diffusion
• ceramics

詳細情報

• CRID: 1390282679741653504
• NII論文ID: 110001371770
• NII論文ID: 10003571888
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.61.1599
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 3635160
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3635160
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可