繰り込み変換分子動力学による無欠陥単結晶シリコン切削時のクラック生成過程シミュレーション

• 稲村豊四郎

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 63 (1), 86-, 1997

詳細情報

• CRID: 1574231873851953408
• NII論文ID: 10003572619
• データソース種別:
  • CiNii Articles