超クリーン化技術の最新動向 Ultra Clean Technology of the Latest Trend

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著者

    • 斉木 篤 SAIKI Atsushi
    • (日立プラント建設(株))空調プラント事業本部 (Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd. ) Air Conditioning & Industrial Facilities Group.
    • 加藤 浩二 KATO Koji
    • (日立プラント建設(株))松戸研究所 (Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd. ) Matsudo Research Laboratories.

収録刊行物

  • 冷凍

    冷凍 72(840), 934-939, 1997-10

    日本冷凍空調学会

参考文献:  13件中 1-13件 を表示

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    斉木篤

    電子情報学会論文誌 C-II J73-C-11(5), 343, 1990

    被引用文献1件

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    石割修一

    第11回UCTシンポジウム 17, 1990

    被引用文献1件

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    SAIKI A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, Part 1, (5A), 2504, 1994

    被引用文献1件

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    島崎綾子

    サイエンスフォーラムセミナー, 1995

    被引用文献1件

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    斉木篤

    ウルトラクリーンテクノロジー 6(5/6), 265, 1994

    被引用文献1件

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    斉木篤

    ウルトラクリーンテクノロジー 7(4), 208, 1995

    被引用文献1件

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    鈴木道夫

    第2回空気清浄技術研究大会予稿集 17, 1983

    被引用文献2件

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    清田省吾

    クリーンテクノロジー 4(10), 35, 1994

    被引用文献1件

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    河津秀雄

    クリーンテクノロジー 4(10), 45, 1994

    被引用文献1件

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    真坂あずさ

    第56回応用物理学会学術講演会講演予稿集 第二分冊, 714, 1995

    被引用文献1件

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    加藤浩二

    第14回空気清浄技術研究大会予稿集 5, 1996

    被引用文献1件

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    KONISHI H.

    Proc. Int'l Symp. Physics and Failure Analysis, 1989

    被引用文献1件

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    斉木篤

    第43回応用物理学会関係連合講演会予稿集 (2), 702, 1996

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10003777251
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00211229
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    00343714
  • NDL 記事登録ID
    4323194
  • NDL 雑誌分類
    ZN14(科学技術--機械工学・工業--熱機関)
  • NDL 請求記号
    Z16-454
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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