総論

• 霜垣 幸浩

Bibliographic Information

Other Title

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• (特集)レビュー CVD ; CVDプロセス技術と反応装置
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Journal

• 化学工学 = Chemical engineering of Japan

  化学工学 = Chemical engineering of Japan 60 (12), 868-869, 1996-12

  東京 : 化学工学会

Details

• CRID: 1520572358192293120
• NII Article ID: 10003808222
• NII Book ID: AN00037212
• ISSN: 03759253
• NDL BIB ID: 4087365
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4087365
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles