半導体メモリー用HSG-Siキャパシタの開発

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収録刊行物

  • 化学工学

    化学工学 61(6), 408-410, 1997-06

    化学工学会

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

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    WATANABE H.

    IEEE ED. 42(7), 1247, 1995

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10003809376
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037212
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03759253
  • NDL 記事登録ID
    4216711
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-53
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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