超微粒子ビームによる成膜法と微細加工への展開

• 明渡 純

書誌事項

タイトル別名

• チョウビリュウシ ビーム ニ ヨル セイマクホウ ト ビサイ カコウ エ ノ

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 68 (1), 44-47, 1999-01

  東京 : 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1520572360211123328
• NII論文ID: 10004320578
• NII書誌ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 4629388
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4629388
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles