今開かれるイオン工学技術　　三次元形状物への高エネルギーイオン注入

• 鈴木 泰雄

  (株)イオン工学研究所

• 行村 建

  同志社大学工学部電気工学科

書誌事項

タイトル別名

• Present Trend of Ion Engineering Research. High Voltage Ion Implantation into Three Dimentional Products.
• 3ジゲン ケイジョウブツ エ ノ コウエネルギー イオン チュウニュウ

収録刊行物

• 電気学会誌

  電気学会誌 118 (3), 147-150, 1998

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• イオン注入
• 三次元イオン
• PSII
• PIII
• プラズマ

詳細情報

• CRID: 1390282679639117312
• NII論文ID: 10004437437
• NII論文ID: 10004295646
• NII書誌ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.118.147
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/13405551
• NDL書誌ID: 4412426
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4412426
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1994/118/3/118_3_147/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles