低気圧中におかれた金属線の加熱によるシャンティングアークの発生=パルス金属イオン源の基礎研究= Shunting Arc Generation of a Heated Wire in a Low Pressure Gas=Fundamental Research of Pulsed Ion Source=
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- 行村 建 YUKIMURA Ken
- 同志社大学 Doshisha University
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- 行村 建 YUKIMURA Ken
- 同志社大学 Doshisha University
収録刊行物
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- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society
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電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 118(9), 954-958, 1998-09-01
電気学会
参考文献: 12件中 1-12件 を表示
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1
- MAVS法による窒化セラミックスの合成
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岡本
日新電気技報 33, 29, 1988
被引用文献1件
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2
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山田
イオンビームによる薄膜設計 66,69, 1991
被引用文献1件
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3
- Electron Emission in Pulsed heating of a Wire
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S. A. Bordzilovskii
Sov. Phys. Tech. Phys. 18, 1251, 1974
被引用文献1件
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4
- <no title>
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W. G. Chace
Exploding Wires, Vol.1-4, 1959
被引用文献1件
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5
- <no title>
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鳳
電離気体論 93, 1968
被引用文献1件
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6
- <no title>
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大野
全方位型パルスイオン注入装置によるTi製膜, 1997
被引用文献1件
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7
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
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小池
電学論A 118, 65, 1998
被引用文献1件
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8
- 水中タングステン線爆発の溶断特性
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元木
電学論A 98, 241, 1977
被引用文献1件
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9
- <no title>
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日本金属学会
金属データブック 12,13, 1973
被引用文献1件
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10
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W. E. Forsythe
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11
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被引用文献1件
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12
- Correlated electrical and optical measurements of exploding wires
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BENNETT F. D.
Phys. Fluids 5, 102-113, 1962
DOI 被引用文献4件
被引用文献: 15件中 1-15件 を表示
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1
- ターゲット電流を用いたシャンティングアークプラズマの密度計測
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熊谷 倫 , 向川 政治 , 高木 浩一 , 藤原 民也 , 行村 建 , 江古 憲一
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2005(1), 47-52, 2005-03-03
参考文献13件
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2
- シャンティングアークを用いた窒素含有プラズマ生成とCNx成膜への適用
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今西 圭吾 , 熊谷 倫 , 向川 政治 , 高木 浩一 , 藤原 民也 , 行村 建 , 須田 善行
電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2006(29), 37-40, 2006-06-30
参考文献11件
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3
- シリコンシャンティングプラズマの生成とアーク移行
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谷 祐志 , 行村 建
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2000(54), 63-67, 2000-08-23
参考文献4件
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4
- CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成
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今西 圭吾 , 村上 貴之 , 向川 政治 , 高木 浩一 , 藤原 民也 , 行村 建 , 須田 善行
電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2007(19), 35-40, 2007-05-25
参考文献17件
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5
- シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
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松本 陽栄 , 三沢 達也 , 大津 康徳 , 藤田 寛治 , 行村 建
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2008(7), 43-46, 2008-01-26
参考文献2件
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6
- シャンティングアークを用いた金属プラズマの生成
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青木 宏憲 , 向川 政治 , 高木 浩一 , 藤原 民也
電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2009(1), 1-5, 2009-05-28
参考文献10件
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7
- シャンティングアークによる金属イオン含有プラズマの生成
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青木 宏憲 , 高橋 和貴 , 高木 浩一 , 藤原 民也
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2010(108), 11-14, 2010-12-16
参考文献13件
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8
- シャンティングアークによる金属イオン含有プラズマの生成
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青木 宏憲 , 高橋 和貴 , 高木 浩一 , 藤原 民也
電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2010(128), 11-14, 2010-12-16
参考文献13件
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9
- シャンティングアークプラズマの大容積化と管内壁処理への適用
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高木 浩一 , 熊谷 倫 , 今西 圭吾 , 向川 政治 , 藤原 民也 , 行村 建 , 須田 善行
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2006(19), 53-57, 2006-01-13
参考文献11件 被引用文献1件
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10
- 磁気駆動型シャンティングアークプラズマからのイオン引き出しとシース近辺の密度の算定
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熊谷 倫 , 向川 政治 , 高木 浩一 , 藤原 民也 , 行村 建 , 江古 憲一
電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 126(7), 661-668, 2006-07-01
J-STAGE 参考文献23件
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11
- 磁気駆動を用いたシャンティングアークプラズマ成膜の速度改善
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高木 浩一 , 長谷川 隆治 , 向川 政治 , 中村 諭 , 藤原 民也 , 熊谷 基也 , 行村 建
電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003(122), 23-28, 2003-10-06
参考文献14件
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12
- 磁気駆動型シャンティングアークの発生とその電気的特性
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高木 浩一 , 長谷川 隆治 , 向川 政治 , 中村 諭 , 藤原 民也 , 熊谷 基也 , 行村 建
電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003(107), 25-30, 2003-08-05
参考文献14件
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13
- Production of Nitrogen-containing Carbon Plasma using Shunting Arc Discharge for Carbon Nitride Films Preparation
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Imanishi Keigo , Kumagai Osamu , Mukaigawa Seiji , TAKAKI Koichi , FUJIWARA Tamiya , YUKIMURA Ken , SUDA Yoshiyuki
電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 127(10), 599-604, 2007-10-01
J-STAGE 参考文献18件
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14
- シャンティングアーク放電による炭素・チタン混合プラズマの生成
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三河 遼太 , 青木 宏憲 , 高橋 和貴 , 高木 浩一 , 藤原 民也
電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2011(14), 25-29, 2011-06-03
参考文献11件
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15
- シャンティングアークの並列駆動と炭素成膜
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高木 浩一 , 青木 宏憲 , 村上 貴之 , 向川 政治 , 藤原 民也 , 行村 建
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2009(41), 59-64, 2009-08-07
参考文献13件