放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザー発振器の開発と寿命特性

• 南谷

収録刊行物

• 電学論A

  電学論A 116 1067-1073, 1996

詳細情報

• CRID: 1572543024093955584
• NII論文ID: 10004440851
• データソース種別:
  • CiNii Articles