Ar高周波誘導プラズマを用いたSF6及びN2消弧ガスの基礎特性評価

• Cliteu G. J.

  (株)東芝

• 鈴木 克巳

  (株)東芝

• Paul K. C.

  金沢大

• 作田 忠裕

  金沢大

書誌事項

タイトル別名

• Fundamental Study of the Effect of SF6 and N2 Inclusion on Ar Inductively Coupled Plasma
• Ar コウシュウハ ユウドウ プラズマ オ モチイタ SF6 オヨビ N2ショウコ ガス ノ キソ トクセイ ヒョウカ

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 119 (4), 482-489, 1999

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• Ar誘導結合プラズマ(ICP)
• スペクトル
• Boltzmann分析
• エネルギー分配関数(EEDF)

詳細情報

• CRID: 1390282679575923328
• NII論文ID: 130006839032
• NII論文ID: 10004442491
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms1990.119.4_482
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• NDL書誌ID: 4704753
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4704753
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms1990/119/4/119_4_482/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles