位相限定相関法のTEM自動焦点解析への適用性の検討

• 常田 るり子

  日立・中央研究所

• 高口 雅成

  日立・中央研究所

• 柿林 博司

  日立・中央研究所

• 長沖 功

  日立・計測器事業部

• 大塚 久史

  日立・計測器事業部

• 稲田 博実

  日立・計測器事業部

• 小林 弘幸

  日立・計測器事業部

• 小林 孝次

  (株)山武・新事業開発室

• 樋口 勝己

  (株)山武・新事業開発室

書誌事項

タイトル別名

• Examination of Applicability of Phase Only Correlation method to TEM Automatic Focusing

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 117-, 1999-05-01

詳細情報

• CRID: 1570291224322093056
• NII論文ID: 10004538901
• NII書誌ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles