Practical SEM system based on the montage technique applicable to ultra-low magnification observation

• OKUGAWA Kenichi

  Kogakuin Univ.

• OHO Eisaku

  Kogakuin Univ.

• KWAMATA Sigeru

  Hitachi Science Systems Co., Ltd.

Bibliographic Information

Other Title

• モンタージュ技法を応用した極低倍率観察のための実用SEM装置

Journal

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 147-, 1999-05-01

Details

• CRID: 1571417124228936960
• NII Article ID: 10004538982
• NII Book ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles