複合型走査反射電子顕微鏡によるGeナノ構造形成

• 市川 昌和

Bibliographic Information

Other Title

• フクゴウガタ ソウサ ハンシャ デンシ ケンビキョウ ニ ヨル Ge ナノ コウゾウ ケイセイ
• 特集:半導体ナノテクノロジーと電子顕微鏡
• トクシュウ ハンドウタイ ナノテクノロジー ト デンシ ケンビキョウ

Journal

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 34 (3), 200-203, 1999-11

  東京 : 日本顕微鏡学会

Details

• CRID: 1520853835232472576
• NII Article ID: 10004539867
• NII Book ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL BIB ID: 4932645
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4932645
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles