Application of Micro Field Emitters to a Miniature Electron Beam Column

DOI Web Site 1 Citations 9 References
  • ENDO Yasuhiro
    Sensing & Control Systems Lab., Peripheral Systems Laboratories, FUJITSU LABORATORIES LTD.
  • HONJO Ichiro
    Sensing & Control Systems Lab., Peripheral Systems Laboratories, FUJITSU LABORATORIES LTD.
  • ITO Akio
    Sensing & Control Systems Lab., Peripheral Systems Laboratories, FUJITSU LABORATORIES LTD.

Bibliographic Information

Other Title
  • マイクロマシン　　マイクロフィールドエミッション電子銃の超小型電子ビームシステムヘの応用
  • カイセツ マイクロフィールドエミッション デンシジュウ ノ チョウコガタ デンシ ビーム システム エ ノ オウヨウ

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Journal

  • Shinku

    Shinku 43 (2), 112-118, 2000

    The Vacuum Society of Japan

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