超臨界二酸化炭素（ＣＯ２）で処理した超高真空装置用アルミニウム表面の汚染除去と評価

• 三品 輝

  国立宮城工業高等専門学校専攻科生産システム工学専攻

• 百瀬 丘

  国立宮城工業高等専門学校専攻科生産システム工学専攻

• 高原 三広

  国立宮城工業高等専門学校専攻科生産システム工学専攻

• 生島 豊

  東北工業技術研究所

• 蓼沼 克嘉

  化研

書誌事項

タイトル別名

• Surface Cleanliness Evaluation of Aluminum for Ultra-high Vacuum Material Treated in Supercritical Fluids CO2.
• チョウジカイ 2サンカタンソ CO2 デ ショリ シタ チョウコウシンクウ ソウチヨウ アルミニウム ヒョウメン ノ オセン ジョキョ ト ヒョウカ

抄録

Generally, contaminations on aluminum surface are hydrocarbons, but they are not clarified yet. So, we applied supercritical fluids (SCF) carbondioxide (CO₂) treatment on aluminum where triglyceride was deposited. Contamination removing rate was evaluated with FT-IR.<BR>(1) The peaks of triglyceride were -CH₃ and -CH₂- at 2920 cm^-1 and 2850 cm^-1, respectively.<BR>(2) Obtained standard lines for evalution are proportional to a square root of contamination of triglyceride in the range from 1% to 30% density. The precision of this standard lines is ±1213%.<BR>(3) Contamination removing rate is in the range of 6798%.Therefore, SCF CO₂ is effective to remove triglyceride on the aluminum surface.

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (3), 341-344, 2000

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204063585408
• NII論文ID: 10004561815
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.43.341
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 5361564
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5361564
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可