3次元イオン注入による立体形状物の表面改質

• 鈴木 泰雄

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• 3ジゲン イオン チュウニュウ ニ ヨル リッタイ ケイジョウブツ ノ ヒョウ

Journal

• 応用物理

  応用物理 67 (6), 664-667, 1998-06

  東京 : 応用物理学会

Details

• CRID: 1520290885234411264
• NII Article ID: 10004533069
• NII Article ID: 10004566832
• NII Book ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL BIB ID: 4474696
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4474696
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles