電磁加速プラズマ発生装置の窒化チタン反応性成膜への応用
書誌事項
- タイトル別名
-
- Applications of Electromagnetic Acceleration Plasma Generators for Titanium Nitride Reactive Coatings
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 全国講演大会講演論文集
-
全国講演大会講演論文集 69 37-38, 1999-06-17
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1573105974049905792
-
- NII論文ID
- 10004575621
-
- NII書誌ID
- AA11461805
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles