レーザ後方散乱による精密加工表面マイクロクラックの測定評価に関する研究 -ガラス表面クラックのシミュレーションと実験による検討-

• 金次 達真

  大阪大学

• 三好 隆志

  大阪大学

• 高谷 裕浩

  大阪大学

• 高橋 哲

  大阪大学

• 友沢 隆幸

  大阪大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1999 (1), 441-, 1999-03-05

詳細情報

• CRID: 1572543024133478272
• NII論文ID: 10004628023
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles