特集解説 原子間力顕微鏡による原子レベルの物性評価と計測

• 森田 清三

• 菅原 康弘

書誌事項

タイトル別名

• トクシュウ カイセツ ゲンシカンリョク ケンビキョウ ニ ヨル ゲンシ レベル ノ ブッセイ ヒョウカ ト ケイソク
• 特集:電子材料ナノメータ領域評価技術
• トクシュウ デンシ ザイリョウ ナノメータ リョウイキ ヒョウカ ギジュツ

収録刊行物

• 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems

  電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems 119 (10), 1109-1112, 1999-10

  東京 : 電気学会

詳細情報

• CRID: 1520290885248012928
• NII論文ID: 10004630425
• NII書誌ID: AN10065950
• ISSN: 03854221
• NDL書誌ID: 4866247
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4866247
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles